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中国科学院半导体研究所 444 中国科学院半导体研究所(2009年前) 249 中科院半导体材料科学重点实验室 99
半导体材料科学中心 34 半导体超晶格国家重点实验室 24 光电子研究发展中心 11
半导体集成技术工程研究中心 9 纳米光电子实验室 8 集成光电子学国家重点实验室 5
固态光电信息技术实验室 3 表面物理国家重点实验室 1 光电子器件国家工程中心 1