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中国科学院半导体研究所 82 中国科学院半导体研究所(2009年前) 47 中科院半导体材料科学重点实验室 19
全固态光源实验室 12 半导体集成技术工程研究中心 2 光电子研究发展中心 1
半导体材料科学中心 1