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中国科学院半导体研究所 125 中国科学院半导体研究所（2009年前） 84 半导体超晶格国家重点实验室 20
中科院半导体材料科学重点实验室 15 集成光电子学国家重点实验室 4 纳米光电子实验室 1
高性能集成电路实验室 1