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中国科学院半导体研究所 71 中国科学院半导体研究所(2009年前) 39 纳米光电子实验室 21
中科院半导体材料科学重点实验室 6 集成光电子学国家重点实验室 2 光电子研究发展中心 1
全固态光源实验室 1 固态光电信息技术实验室 1