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中国科学院半导体研究所 26 半导体超晶格国家重点实验室 16 半导体集成技术工程研究中心 3
中国科学院半导体研究所（2009年前） 2 纳米光电子实验室 2 高速电路与神经网络实验室 2
集成光电子学国家重点实验室 1