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中国科学院半导体研究所 63 中国科学院半导体研究所(2009年前) 30 半导体超晶格国家重点实验室 17
半导体集成技术工程研究中心 6 光电子研究发展中心 5 全固态光源实验室 4
集成光电子学国家重点实验室 1