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中国科学院半导体研究所 29 半导体超晶格国家重点实验室 8 全固态光源实验室 8
纳米光电子实验室 5 中国科学院半导体研究所（2009年前） 3 光电子研究发展中心 3
集成光电子学国家重点实验室 2