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中国科学院半导体研究所 168 中国科学院半导体研究所（2009年前） 110 中科院半导体材料科学重点实验室 38
半导体材料科学中心 9 中科院半导体照明研发中心 4 纳米光电子实验室 4
高速电路与神经网络实验室 3