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中国科学院半导体研究所 604 中国科学院半导体研究所（2009年前） 330 中科院半导体材料科学重点实验室 93
半导体集成技术工程研究中心 39 半导体超晶格国家重点实验室 35 中科院半导体照明研发中心 35
纳米光电子实验室 23 光电子研究发展中心 20 光电子器件国家工程中心 9
集成光电子学国家重点实验室 7 半导体材料科学中心 7 光电系统实验室 4
半导体人工神经网络实验室 2