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中国科学院半导体研究所 50 中国科学院半导体研究所(2009年前) 23 中科院半导体材料科学重点实验室 12
半导体超晶格国家重点实验室 7 纳米光电子实验室 3 光电子研究发展中心 2
高性能集成电路实验室 2 高速电路与神经网络实验室 1