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中国科学院半导体研究所 548 中国科学院半导体研究所（2009年前） 367 中科院半导体材料科学重点实验室 53
光电子研究发展中心 51 纳米光电子实验室 18 集成光电子学国家重点实验室 17
半导体超晶格国家重点实验室 13 半导体集成技术工程研究中心 12 高速电路与神经网络实验室 6
中科院半导体照明研发中心 4 全固态光源实验室 2 光电系统实验室 2
光电子器件国家工程中心 1 半导体材料科学中心 1 高性能集成电路实验室 1