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中国科学院半导体研究所 166 中国科学院半导体研究所（2009年前） 54 纳米光电子实验室 51
光电子研究发展中心 24 固态光电信息技术实验室 19 集成光电子学国家重点实验室 10
中科院半导体材料科学重点实验室 7 半导体集成技术工程研究中心 1