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中国科学院半导体研究所 260 光电系统实验室 175 中国科学院半导体研究所(2009年前) 78
半导体集成技术工程研究中心 3 固态光电信息技术实验室 2 集成光电子学国家重点实验室 1
光电子研究发展中心 1 纳米光电子实验室 1