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中国科学院半导体研究所 38 光电子研究发展中心 18 中国科学院半导体研究所(2009年前) 13
半导体集成技术工程研究中心 3 中科院半导体材料科学重点实验室 2 光电子器件国家工程中心 1
纳米光电子实验室 1