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中国科学院半导体研究所 427 中国科学院半导体研究所(2009年前) 214 半导体超晶格国家重点实验室 79
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半导体集成技术工程研究中心 8 集成光电子学国家重点实验室 7 固态光电信息技术实验室 5
半导体材料科学中心 1 纳米光电子实验室 1