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中国科学院半导体研究所 84 中国科学院半导体研究所（2009年前） 55 光电系统实验室 13
纳米光电子实验室 10 集成光电子学国家重点实验室 2 全固态光源实验室 2
半导体超晶格国家重点实验室 1 中科院半导体材料科学重点实验室 1