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中国科学院半导体研究所 77 中科院半导体材料科学重点实验室 19 半导体超晶格国家重点实验室 16
中国科学院半导体研究所(2009年前) 13 光电子研究发展中心 13 集成光电子学国家重点实验室 7
全固态光源实验室 5 纳米光电子实验室 3 固态光电信息技术实验室 1