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中国科学院半导体研究所 53 中国科学院半导体研究所(2009年前) 25 光电子研究发展中心 12
半导体超晶格国家重点实验室 9 中科院半导体材料科学重点实验室 3 集成光电子学国家重点实验室 1
光电子器件国家工程中心 1 高性能集成电路实验室 1 固态光电信息技术实验室 1