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中国科学院半导体研究所 52 中国科学院半导体研究所（2009年前） 35 中科院半导体材料科学重点实验室 6
纳米光电子实验室 5 光电子研究发展中心 3 集成光电子学国家重点实验室 2
半导体超晶格国家重点实验室 1