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中国科学院半导体研究所 213 中国科学院半导体研究所(2009年前) 89 中科院半导体材料科学重点实验室 44
半导体材料科学中心 25 集成光电子学国家重点实验室 21 半导体超晶格国家重点实验室 11
中科院半导体照明研发中心 11 光电子研究发展中心 4 半导体集成技术工程研究中心 3
光电系统实验室 2 高速电路与神经网络实验室 2 全固态光源实验室 1