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中国科学院半导体研究所 65 纳米光电子实验室 14 半导体超晶格国家重点实验室 13
中国科学院半导体研究所(2009年前) 11 中科院半导体材料科学重点实验室 10 集成光电子学国家重点实验室 7
光电子研究发展中心 6 中科院半导体照明研发中心 4