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中国科学院半导体研究所 88 中国科学院半导体研究所（2009年前） 52 纳米光电子实验室 11
集成光电子学国家重点实验室 10 中科院半导体材料科学重点实验室 8 半导体集成技术工程研究中心 3
全固态光源实验室 3 光电子器件国家工程中心 1