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共8条，第1-8条
中国科学院半导体研究所 19 光电子器件国家工程中心 6 半导体超晶格国家重点实验室 5
光电子研究发展中心 3 纳米光电子实验室 2 中科院半导体材料科学重点实验室 1
半导体集成技术工程研究中心 1 高速电路与神经网络实验室 1