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中国科学院半导体研究所 53 半导体超晶格国家重点实验室 16 光电子研究发展中心 15
中科院半导体材料科学重点实验室 12 中科院半导体照明研发中心 5 半导体集成技术工程研究中心 3
全固态光源实验室 2