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中国科学院半导体研究所 293 中国科学院半导体研究所（2009年前） 96 半导体超晶格国家重点实验室 60
全固态光源实验室 45 光电子研究发展中心 38 中科院半导体材料科学重点实验室 17
中科院半导体照明研发中心 12 纳米光电子实验室 7 集成光电子学国家重点实验室 4
半导体材料科学中心 4 固态光电信息技术实验室 4 光电子器件国家工程中心 2
高速电路与神经网络实验室 2 半导体集成技术工程研究中心 1 光电系统实验室 1