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中国科学院半导体研究所 95 中国科学院半导体研究所(2009年前) 38 半导体集成技术工程研究中心 13
光电子研究发展中心 12 半导体超晶格国家重点实验室 11 中科院半导体材料科学重点实验室 11
全固态光源实验室 6 半导体材料科学中心 2 集成光电子学国家重点实验室 1
光电系统实验室 1