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中国科学院半导体研究所 523 中国科学院半导体研究所（2009年前） 159 中科院半导体材料科学重点实验室 150
光电子研究发展中心 56 半导体超晶格国家重点实验室 39 半导体集成技术工程研究中心 36
纳米光电子实验室 21 中科院半导体照明研发中心 20 集成光电子学国家重点实验室 15
光电系统实验室 11 固态光电信息技术实验室 7 光电子器件国家工程中心 6
半导体材料科学中心 3