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中国科学院半导体研究所 83 中国科学院半导体研究所(2009年前) 70 全固态光源实验室 4
集成光电子学国家重点实验室 3 光电子器件国家工程中心 2 光电系统实验室 2
半导体超晶格国家重点实验室 1 半导体集成技术工程研究中心 1