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中国科学院半导体研究所 140 中科院半导体材料科学重点实验室 52 半导体超晶格国家重点实验室 44
光电子研究发展中心 19 半导体集成技术工程研究中心 11 中科院半导体照明研发中心 9
纳米光电子实验室 5