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中国科学院半导体研究所 539 光电子研究发展中心 154 半导体超晶格国家重点实验室 140
中科院半导体材料科学重点实验室 75 中国科学院半导体研究所（2009年前） 44 中科院半导体照明研发中心 31
半导体集成技术工程研究中心 22 纳米光电子实验室 14 固态光电信息技术实验室 14
光电系统实验室 10 高速电路与神经网络实验室 10 集成光电子学国家重点实验室 9
全固态光源实验室 8 北京纳米能源与系统研究所 4 光电子器件国家工程中心 3
半导体人工神经网络实验室 1