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中国科学院半导体研究所 5105 光电子研究发展中心 1081 半导体超晶格国家重点实验室 972
中国科学院半导体研究所（2009年前） 921 中科院半导体材料科学重点实验室 864 中科院半导体照明研发中心 277
集成光电子学国家重点实验室 211 半导体集成技术工程研究中心 192 全固态光源实验室 117
固态光电信息技术实验室 116 光电系统实验室 87 纳米光电子实验室 86
光电子器件国家工程中心 60 高速电路与神经网络实验室 46 北京纳米能源与系统研究所 42
半导体材料科学中心 16 半导体人工神经网络实验室 8 高性能集成电路实验室 8
科半公司 2 表面物理国家重点实验室 1