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中国科学院半导体研究所 1007 半导体超晶格国家重点实验室 399 中科院半导体材料科学重点实验室 187
中国科学院半导体研究所（2009年前） 116 光电子研究发展中心 116 半导体集成技术工程研究中心 80
中科院半导体照明研发中心 37 集成光电子学国家重点实验室 16 北京纳米能源与系统研究所 16
固态光电信息技术实验室 13 纳米光电子实验室 10 光电子器件国家工程中心 6
半导体材料科学中心 6 半导体人工神经网络实验室 2 全固态光源实验室 2
高性能集成电路实验室 1