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中国科学院半导体研究所 95 半导体超晶格国家重点实验室 41 中科院半导体材料科学重点实验室 28
中国科学院半导体研究所（2009年前） 11 中科院半导体照明研发中心 8 光电子研究发展中心 5
半导体集成技术工程研究中心 2