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Chinese National Key 1 NSFC[16760525405, 10 1 National Basic Resea 1
National Key Basic R 1 National Natural Sci 1 Natural Science Foun 1
Natural Science Foun 1 Shanghai Jiao Tong U 1 State Key Developmen 1
国家自然科学基金,中国科学院半导体所开放 1 国家重点基础研究发展计划资助项目,国家自 1 国家高技术研究发展计划,国家重点基础研究 1