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中国科学院半导体研究所 25 半导体超晶格国家重点实验室 12 高速电路与神经网络实验室 4
光电子研究发展中心 3 半导体集成技术工程研究中心 3 中国科学院半导体研究所（2009年前） 2
高性能集成电路实验室 1