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中国科学院半导体研究所 336 半导体超晶格国家重点实验室 168 中国科学院半导体研究所（2009年前） 51
中科院半导体材料科学重点实验室 35 光电子研究发展中心 22 半导体集成技术工程研究中心 14
纳米光电子实验室 14 北京纳米能源与系统研究所 9 固态光电信息技术实验室 6
集成光电子学国家重点实验室 5 中科院半导体照明研发中心 5 光电系统实验室 5
半导体材料科学中心 1 全固态光源实验室 1