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中国科学院半导体研究所 2009 中国科学院半导体研究所（2009年前） 908 半导体超晶格国家重点实验室 379
中科院半导体材料科学重点实验室 365 光电子研究发展中心 121 中科院半导体照明研发中心 100
集成光电子学国家重点实验室 49 纳米光电子实验室 29 固态光电信息技术实验室 22
半导体材料科学中心 16 半导体集成技术工程研究中心 10 光电子器件国家工程中心 5
全固态光源实验室 3 光电系统实验室 2