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中国科学院半导体研究所 236 中国科学院半导体研究所（2009年前） 86 半导体超晶格国家重点实验室 48
中科院半导体材料科学重点实验室 34 光电子研究发展中心 20 集成光电子学国家重点实验室 12
半导体集成技术工程研究中心 9 光电系统实验室 7 纳米光电子实验室 5
高速电路与神经网络实验室 5 中科院半导体照明研发中心 3 半导体材料科学中心 3
全固态光源实验室 3 光电子器件国家工程中心 1