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中国科学院半导体研究所 265 半导体超晶格国家重点实验室 66 中国科学院半导体研究所（2009年前） 54
中科院半导体材料科学重点实验室 47 光电子研究发展中心 38 集成光电子学国家重点实验室 23
纳米光电子实验室 17 半导体集成技术工程研究中心 6 光电系统实验室 4
中科院半导体照明研发中心 3 半导体材料科学中心 2 全固态光源实验室 2
高速电路与神经网络实验室 2 固态光电信息技术实验室 1