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共7条，第1-7条
中国科学院半导体研究所 91 半导体超晶格国家重点实验室 39 光电子研究发展中心 23
中科院半导体材料科学重点实验室 22 纳米光电子实验室 5 集成光电子学国家重点实验室 1
半导体集成技术工程研究中心 1