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中国科学院半导体研究所 212 中国科学院半导体研究所（2009年前） 194 集成光电子学国家重点实验室 8
中科院半导体材料科学重点实验室 5 半导体超晶格国家重点实验室 2 纳米光电子实验室 2
高性能集成电路实验室 1