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中国科学院半导体研究所 50 中国科学院半导体研究所（2009年前） 42 集成光电子学国家重点实验室 4
半导体超晶格国家重点实验室 1 半导体材料科学中心 1 半导体集成技术工程研究中心 1
纳米光电子实验室 1