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中国科学院半导体研究所 173 中科院半导体材料科学重点实验室 63 中国科学院半导体研究所（2009年前） 54
半导体材料科学中心 13 光电子研究发展中心 7 半导体集成技术工程研究中心 7
高性能集成电路实验室 7 半导体超晶格国家重点实验室 5 固态光电信息技术实验室 5
高速电路与神经网络实验室 4 光电子器件国家工程中心 3 纳米光电子实验室 3
集成光电子学国家重点实验室 1 中科院半导体照明研发中心 1