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中国科学院半导体研究所 1600 中国科学院半导体研究所（2009年前） 790 中科院半导体材料科学重点实验室 162
光电子研究发展中心 124 集成光电子学国家重点实验室 94 全固态光源实验室 71
半导体超晶格国家重点实验室 67 中科院半导体照明研发中心 66 半导体集成技术工程研究中心 56
光电系统实验室 46 纳米光电子实验室 45 高速电路与神经网络实验室 26
固态光电信息技术实验室 20 光电子器件国家工程中心 10 半导体人工神经网络实验室 10
高性能集成电路实验室 6 半导体材料科学中心 5 北京纳米能源与系统研究所 2