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中国科学院半导体研究所 49 中国科学院半导体研究所（2009年前） 27 中科院半导体材料科学重点实验室 16
半导体超晶格国家重点实验室 3 集成光电子学国家重点实验室 1 半导体集成技术工程研究中心 1
高性能集成电路实验室 1