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中国科学院半导体研究所 97 中国科学院半导体研究所(2009年前) 73 光电子研究发展中心 11
中科院半导体材料科学重点实验室 8 集成光电子学国家重点实验室 1 表面物理国家重点实验室 1
半导体材料科学中心 1 纳米光电子实验室 1 全固态光源实验室 1