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中国科学院半导体研究所 41 中国科学院半导体研究所（2009年前） 14 纳米光电子实验室 11
集成光电子学国家重点实验室 5 光电子研究发展中心 5 固态光电信息技术实验室 4
中科院半导体材料科学重点实验室 2