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中国科学院半导体研究所 34 中科院半导体材料科学重点实验室 11 半导体超晶格国家重点实验室 7
全固态光源实验室 6 中国科学院半导体研究所(2009年前) 3 集成光电子学国家重点实验室 3
光电子研究发展中心 2 高速电路与神经网络实验室 2