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中国科学院半导体研究所 541 中国科学院半导体研究所（2009年前） 301 中科院半导体材料科学重点实验室 92
半导体超晶格国家重点实验室 53 集成光电子学国家重点实验室 26 光电子研究发展中心 26
半导体集成技术工程研究中心 13 纳米光电子实验室 12 光电系统实验室 5
中科院半导体照明研发中心 4 半导体材料科学中心 3 全固态光源实验室 3
高速电路与神经网络实验室 2 半导体人工神经网络实验室 1