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中国科学院半导体研究所 34 中国科学院半导体研究所(2009年前) 13 中科院半导体材料科学重点实验室 6
集成光电子学国家重点实验室 5 半导体材料科学中心 3 纳米光电子实验室 3
半导体人工神经网络实验室 2 表面物理国家重点实验室 1 半导体集成技术工程研究中心 1